半导体制造
Kynar® PVDF为半导体制造
带来超高纯度、耐化学腐蚀的材料解决方案
Kynar® PVDF树脂被长期用于半导体行业管路系统，湿式工作台，以及芯片制造设备内的其他装备，带来优异的超高纯度和耐化学性能。
半导体行业的应用
Kynar® PVDF树脂用于半导体制造设备的多种应用，包括：
- 超高纯管路系统：Kynar® PVDF制成的超纯管路系统用于输送重要材料，最大限度地降低污染风险，这对半导体制造至关重要。
- 湿式工作台：Kynar® PVDF带来优异的耐化学性和超高纯度，被应用于半导体晶圆加工和清洗制程中必需的湿式工作台。
- 塔填料：Kynar® PVDF带来出色的耐化学腐蚀性能，其制成的塔填料 用于精馏和清洗等制程。
- 槽、泵和阀门：槽、泵和阀等部件需要经常接触强腐蚀性的化学品，使用Kynar® PVDF制成的部件具有优异的耐久性和抗腐蚀性。
- 棒板材预制件：Kynar® PVDF制成的棒板材预制件，用于制成半导体制程中所需要的定制部件。
Kynar® PVDF 耐受多种严苛应用环境：
耐热酸：耐受半导体加工中常用的氢氟酸、硫酸和盐酸等强腐蚀性化学品。
超纯水 (18MΩ去离子水)：Kynar® PVDF不会损害半导体制造中使用的超纯水的纯净度。
为什么选择 Kynar® PVDF 用于半导体制造？
- 超高纯度：符合严苛行业标准，Kynar® PVDF具有极低的离子析出性，确保半导体制程污染降至最低。
- 符合FM 4910标准：Kynar® PVDF具有优异的阻燃性和低烟雾性，是半导体洁净室的首选材料，符合严格的防火安全标准。
- 符合SEMI F57标准：该认证验证了Kynar® PVDF的超高纯度及卓越耐化学性能，是半导体制造超纯水和化学品输送系统的理想材料。
- 易焊接：Kynar® PVDF可使用红外焊接，确保管路系统连接牢固、纯净。
- 耐化学腐蚀：长期耐受半导体制造中的热酸和去离子水。
Kynar® PVDF树脂是半导体行业应用的高性能材料，具有超高纯度、卓越耐化学性，符合严苛的行业标准，是半导体制造从管路系统到定制部件的最佳材料选择。随着半导体行业的不断发展，Kynar® PVDF的可靠性和多功能性将助力半导体行业创新发展。